Кишенькова вафля

Кишенькова вафля (також відома як Carrier Wafer): представлення продукту та застосування процесу

Основне визначення
Кишенькова пластина, також відома як несуча пластина, — це допоміжна кремнієва пластина, яка використовується в передових напівпровідникових упаковках (таких як процеси WLP-упаковки на рівні пластин, 3D-пакування та TSV) для тимчасової підтримки та перенесення ультра-тонких пластин (тонких пластин, як правило, товщиною < 50 мкм). Він не бере участь у кінцевій функції чіпа та вважається критично важливим витратним матеріалом процесу.

Основні функції

1. Механічна опора: ультра-пластини дуже чутливі до деформації, розтріскування або труднощів у використанні. Кишенькові пластини забезпечують жорстку опору за допомогою вакуумної адсорбції або тимчасового з’єднання (наприклад, клей, що твердіє УФ-, термопластичний клейовий шар);
2. Гарантія сумісності процесів: дозволяє тонким пластинам плавно проходити через переднє-/задні-обладнання, таке як фотолітографія, травлення, гальванічне покриття та CMP (ці пристрої спочатку були розроблені для стандартних пластин товщиною 725 мкм);
3. Зменшене напруження та викривлення: спеціально розроблена «кишенькова» структура-канавки, виточені на поверхні пластини-носія, яка відповідає формі пластини, яку потрібно переносити (зазвичай трохи більша за розмір пластини, із мікронним-проміжком між рівнем)-ефективно обмежує ковзання пластини та зменшує термічну та механічну напругу;
4. Покращена продуктивність і повторюваність: забезпечує стабільну точність положення пластини (накладання) під час багато-етапних процесів, що особливо важливо для високо-точних процесів, таких як заповнення TSV і виготовлення RDL.

Матеріал і технічні характеристики

1. Матеріал: головним чином моно{0}}кристалічний кремній (CZ або FZ кремній) із високим ступенем відповідності коефіцієнта теплового розширення (CTE) пластині пристрою (~2,6 ppm/градус), що запобігає розшаруванню чи розтріскуванню через зміни температури;
2. Діаметр: зазвичай такий самий, як пластина, що переноситься (наприклад, 200 мм або 300 мм), товщина приблизно 725–1000 мкм (забезпечує достатню жорсткість);
3. Обробка поверхні: передня сторона має точно оброблену канавку (допуск на глибину ±1 мкм), а тильна сторона часто полірована або має мікро-канавки для оптимізації рівномірності вакуумної адсорбції;
4. Додаткові функції: деякі-пластини високого класу містять датчики температури, точки моніторингу тиску або використовують покриття з низьким-відбиттям для легшого оптичного вирівнювання.

Відмінності від звичайних пластин Carrier
Не всі вафлі-носії є кишеньковими вафлями:
Звичайна пластина-носій: ґрунтується виключно на планарній адсорбції (наприклад, адгезія блакитної плівки + задній-бічний видування повітря), не має фізичних обмежуючих структур і підходить для більш товстих пластин або простих процесів;
Кишенькова пластина: особливо стосується високо{0}}точних несучих пластин із спеціальними канавками (кишенями), що підкреслює нульове ковзання, високу точність позиціонування та низьке зняття напруги. Це основний витратний матеріал для 2,5D/3D упаковки.

Галузеві застосування та тенденції
Широко використовується в: Fan-Out WLP (наприклад, TSMC InFO), стекуванні HBM, CoWoS, гетерогенній інтеграції Chiplet та інших передових платформах пакування;

Напрямок розвитку: композитні пластини-носії (Si + керамічна підкладка), багаторазові типи (стійкість до високої температури/хімічної корозії) та інтелектуальні пластини-носії (вбудоване зондування + відстеження RFID).

Наша продукція постачається виключно від п’яти провідних світових виробників і провідних вітчизняних заводів. Підтримується висококваліфікованими вітчизняними та міжнародними технічними командами та суворими заходами контролю якості.

Наша мета — надавати клієнтам комплексну індивідуальну підтримку, забезпечуючи безперебійну професійну, своєчасну та ефективну комунікацію. Ми пропонуємо низьку мінімальну кількість замовлення та гарантуємо швидку доставку протягом 24 годин.

Наш величезний асортимент складається з 1000+ продуктів, що гарантує, що клієнти можуть розміщувати замовлення всього за одну штуку. Наше власне обладнання для нарізання та шліфування, а також повна співпраця в глобальному промисловому ланцюжку дозволяють нам швидко відправляти, щоб забезпечити клієнтам задоволення та зручність.

Наша компанія пишається різноманітними сертифікатами, які ми отримали, включаючи наш патентний сертифікат, сертифікат ISO9001 і сертифікат національного високотехнологічного підприємства. Ці сертифікати вказують на нашу відданість інноваціям, управлінню якістю та відданість досконалості.

Популярні Мітки: кишенькова вафля, Китай кишенькова вафля виробники, постачальники, фабрика