Чи можна переробити відпрацьовані кремнієві пластини?

Виробництво напівпровідникового кремнію високої чистоти для інтегральних схем і кремнію для сонячних панелей зростає з кожним роком. У процесі виробництва пластин близько 60% кремнію, кремнієвий злиток після обрізки, викидається разом із очищенням стічних вод під час різання та полірування. Вартість відновлення високочистого кремнію дуже висока. Якщо кремнезем можна перетворити на конструкційну кераміку на основі нітридів, це допоможе вирішити екологічні проблеми в напівпровідниковій і фотоелектричній промисловості.
Погані кремнієві пластини та сонячні кремнієві пластини, отримані під час виробничого процесу, можна переробити.
Метод відновлення кремнієвих пластин полягає в сортуванні нестандартних кремнієвих пластин, створених і викинутих у процесі виробництва напівпровідникових пристроїв за допомогою процесу сортування, і модифікації поверхні в процесі хімічної обробки та процесу фізичної обробки. Поверхня зішкрябується. Потім поверхня кремнієвої пластини активується за допомогою процесу хімічної активації, а потім висушується за допомогою мікрохвильового сушіння, щоб нестандартну кремнієву пластину можна було повторно використовувати як кремнієву підкладку сонячного елемента.