Що таке вафельна насічка?
Виїмка — це невелика канавка, вирізана безпосередньо під кремнієвою пластиною, зазвичай у формі V або U. Notch виконує дві функції. Один з них полягає в позначенні кристалічної орієнтації кремнієвої пластини, наприклад<100>, <110>, <111>, тощо. Інша функція полягає в тому, щоб дозволити кремнієвій пластині правильно розташувати та вирівняти її в обладнанні для виробництва напівпровідників. Як правило, виїмки є на пластинах із 8- і 12- дюймів.
Як виглядає Нотч?
Розмір виїмки повинен суворо відповідати стандартам SEMI, як показано на малюнку вище:
1. Vw представляє загальну ширину виїмки, а її розмір пов’язаний з діаметром і товщиною кремнієвої пластини.
2. Vh — глибина виїмки, що вказує на відстань по вертикалі від краю кремнієвої пластини до дна канавки. Зазвичай він коливається від 10 до 1,25 мм. Vh має вирішальне значення для забезпечення точності вирівнювання виїмки.
3. AngV, тобто Notch Angle. AngV - це кут виїмки, який є кутом між краями канавки з обох сторін. Зазвичай це між 89 і 95 градусами. Цей кут відіграє вирішальну роль у геометрії та позиціонуванні виїмки.
4. R1 і R2 позначають радіуси кутів по обидва боки виїмки. Ці два радіуси визначають гладкість кутів канавки, впливають на концентрацію напруги в виїмці та впливають на механічні властивості кремнієвої пластини.
5. Vr - радіус кривизни в нижній частині виїмки, що вказує на розмір дуги в нижній частині канавки. Vr може змінювати форму кривої та плавність виїмки. Більший Vr може зробити нижню частину виїмки більш плоскою, що допомагає зменшити концентрацію напруги.
6. Орієнтація виїмки: Напрямок канавки паралельний певній орієнтації кристала пластини, допускається відхилення ±2 градуси.
