Які методи очищення кремнієвих пластин?

Існує два методи видалення забруднення з кремнієвих пластин: фізичне очищення та хімічне очищення.
1. Хімічне очищення полягає у видаленні невидимого забруднення атомів та іонів. Існує багато методів, таких як екстракція розчинником, травлення (сірчана кислота, азотна кислота, царська горілка, різні змішані кислоти тощо) і плазмовий метод. Серед них метод очищення системи перекисом водню має хороший ефект і незначне забруднення навколишнього середовища. Загальний метод полягає в очищенні кремнієвої пластини розчином кислоти зі співвідношенням H2SO4:H2O2=5:1 або 4:1. Сильна окислювальна властивість миючого розчину може розкладати та видаляти органічні речовини; після промивання надчистою водою використовувати луг із співвідношенням H2O:H2O2:NH4OH=5:2:1 або 5:1:1 або 7:2:1 внаслідок окислення H2O2 і комплексоутворення NH4OH, багато іонів металів утворюють стійкі розчинні комплекси і розчиняються у воді; потім використовуйте композиційне співвідношення H2O:H2O2:HCL=7:2:1 або 5:2:1 кислого очисного розчину внаслідок окислення H2O2, розчинення соляної кислоти та комплексоутворення іонів хлориду, багато металів утворюють складні іони, які розчиняються у воді, щоб досягти мети очищення.
Атомний аналіз радіоіндикаторів і мас-спектрометричний аналіз показали, що система перекису водню мала найкращий ефект очищення кремнієвих пластин, і в той же час усі використовувані хімічні реагенти H2O2, NH4OH і HCl могли повністю випаруватися. Під час очищення кремнієвої пластини за допомогою H2SO4 і H2O2 на поверхні кремнієвої пластини залишиться приблизно 2×1010 атомів на квадратний сантиметр атомів сірки, які можна повністю видалити останнім кислим очисним розчином. Очищення кремнієвої пластини за допомогою системи H2O2 не має залишків, є менш шкідливим, а також корисним для здоров’я працівників і захисту навколишнього середовища. Після кожного етапу очищення кремнієвої пластини миючим розчином її необхідно ретельно промити надчистою водою.
2. Існує три способи фізичного очищення.
(1) Чищення щіткою або скрабом: це може видалити частинки забруднення та більшу частину плівки, що прилипає до аркуша.
(2) Очищення під високим тиском: поверхню листа розбризкують рідиною, а тиск сопла досягає кількох сотень атмосфер. Очищення під високим тиском залежить від розпилення, і плівку нелегко подряпати та пошкодити. Однак розпилення під високим тиском вироблятиме статичну електрику, якої можна уникнути, регулюючи відстань і кут від сопла до плівки або додаючи антистатики.
(3) Ультразвукове очищення: ультразвукова звукова енергія вводиться в розчин, і забруднення на плівці змиваються кавітацією. Однак видалити частинки розміром менше 1 мікрона з візерункового листового матеріалу складніше. Збільште частоту до діапазону ультрависоких частот, і ефект очищення стане кращим.