Що таке рівномірність осадження тонкої плівки?
Однорідність тонкої плівки означає постійність розподілу товщини тонкої плівки по всій пластині. Хороша однорідність означає, що товщина тонкої плівки дуже однакова в кожному місці на пластині.
Які бувають види однорідності тонкої плівки?
Зазвичай розглядаються наступні види:
● Однорідність всередині пластини: Однорідність в одній пластині.
● Однорідність вафлі: Однорідність між різними пластинами.
● Однорідність від партії до партії: Однорідність між різними партіями вафель.
Як розраховується однорідність?
Взявши як приклад рівномірність пластини, її стандартне відхилення розраховується за формулою:
Ця формула обчислює квадратний корінь із середнього з квадратів різниць між кожною точкою даних і середнім значенням даних.
σ (стандартне відхилення): представляє ступінь дисперсії даних; чим більше стандартне відхилення, тим більша дисперсія.
N: Загальна кількість виміряних точок даних.
ти: значення товщини i-ї точки даних.
Середній: середнє значення всіх точок даних.
(ti−середнє)^2: квадрат різниці між кожною точкою даних і середнім значенням.
∑: Підведення підсумків.
Формула дещо складна для розуміння, тому ось приклад:
Припустімо, що ми маємо набір точок даних товщини тонкої плівки: 55,1, 54,8, 55,3, 54,9, 55.0, 54,7, 55,2, 54,9, 55,1, 54,8.
●Спочатку обчисліть середнє значення цих 10 балів: Середнє=54.98.
●Потім обчисліть квадрат різниці між кожною товщиною та середнім: {{0}}.0144, 0.0324, {{1{{12} }}}.1024, 0.0004, 0,0004, 0,0784, 0,0484, 0,0004, 0,0144, 0,0324.
●Підсумуйте ці квадрати різниць і знайдіть середнє: (0.0144 + 0.0324 + 0.1024 + 0.0004 + 0.0004 + 0.{{6} }.0484 + 0.0004 + 0.0144 + 0.0324)=0.3996.
●Нарешті обчисліть стандартне відхилення: σ=0.193.
